無塵車間標準所使用的粒徑的測量單位是微米，1微米等于百萬分之一米。

    無塵車間的級別是按其空氣潔凈度劃分的，美國聯(lián)邦標準準209A至D的無塵車間分級最容易理解，但該等級正被最新版本E所取代，后來又被ISO-14644-1所取代，盡管如此，老版本仍被廣泛采用，在聯(lián)邦標準的老版本中（A至D），大于等于0.5um粒子的數(shù)量是按每立方英尺空氣計數(shù)的，并以此計算和劃分無塵車間的等級，而最新的聯(lián)邦209E標準采用了公制，到1999年，頒布了ISO 14644-1，該標準已經(jīng)被歐洲所有國家采用，并逐淅為世界其他國家所采用。

    本書中采用的是ISO 14644-1的無塵車間分級標準，并在括號中注明了FS-209的相應級別。

    聯(lián)邦標準209早期版本（A至D）

    聯(lián)邦標準209于1963年在美國首先公布，其名稱是“潔凈室和工作站（受控環(huán)境）技術條件”，到1966年做了更改（209A），1973年更改為版本本B,1987年改為版本C,1988年改為版本D,1992年改為版本E。

    聯(lián)邦標準209E

    聯(lián)邦標準209E的室內(nèi)懸浮粒子濃度以公制單位即每立方米表示，潔凈級別則為每立方米大于等于0.5um懸浮粒子濃度之對數(shù)。

    ISO 14644-1標準

    國際標準化組織ISO正在制訂無塵車間的系列標準，它涵蓋了無塵車間的重要項目，例如設計、測試、運行、生物污染等，1999年出版了其第一個標準ISO 14644-1，題為“空氣潔凈度等級”并給出了無塵車間分級方法。

    應當注意的是，無塵車間的ISO 14644-1級別與聯(lián)邦標準209的級別可以轉換，如果ISO標準的每立方米粒子濃度被35.2除，就轉換成每立方英尺的粒子計數(shù)。

    ISO 14644-1規(guī)定的占用狀態(tài)如下：

    “空態(tài)”：無塵車間所有設施要安裝完畢并在工作，但無生產(chǎn)設備，材料或人員在場。

    “靜態(tài)”：無塵車間怕有設施在運行，生產(chǎn)設備安裝完畢并以供需雙方同意的方式運行，但無人員在場。