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掃描電子顯微鏡

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2005-11-18   瀏覽次數(shù):861

掃描電子顯微鏡

 

JEOL掃描電子顯微鏡

    掃描電子顯微鏡(scanning electron microscope,SEM)于20世紀(jì)60年代問(wèn)世,用來(lái)觀察標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。其工作原理是用一束極細(xì)的電子束掃描樣品,在樣品表面激發(fā)出次級(jí)電子,次級(jí)電子的多少與電子束入射角有關(guān),也就是說(shuō)與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān),次級(jí)電子由探測(cè)體收集,并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?hào),再經(jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)來(lái)控制熒光屏上電子束的強(qiáng)度,顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象,反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。為了使標(biāo)本表面發(fā)射出次級(jí)電子,標(biāo)本在固定、脫水后,要噴涂上一層重金屬微粒,重金屬在電子束的轟擊下發(fā)出次級(jí)電子信號(hào)。

    目前掃描電鏡的分辨力為6~10nm,人眼能夠區(qū)別熒光屏上兩個(gè)相距0.2mm的光點(diǎn),則掃描電鏡的最大有效放大倍率為0.2mm/10nm=20000X。

 

光學(xué)顯微鏡、TEM、SEM成像原理比較

 

人類(lèi)血細(xì)胞SEM照片

 
 
關(guān)鍵詞: 掃描  表面  次級(jí)  標(biāo)本  顯微鏡  樣品  結(jié)構(gòu)  SEM  發(fā)出     
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