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感光性高分子

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2006-08-16
人們通常認(rèn)為鹵化銀是感光材料。此外還有感光性高分子、光敏高分子。它能在光的作用下迅速發(fā)生光學(xué)反應(yīng),從而引起性質(zhì)上的變化。這種變化已普遍應(yīng)用于印刷、電子、涂料等工業(yè)中。感光高分子還用于制造集成電路,大規(guī)模集成電路有以微米為單位的精密圖案線條,相當(dāng)于人發(fā)的幾十分之一,不可能用銅鋅板制作,而要用光敏刻蝕劑(又叫光刻膠)。用作光敏刻蝕劑的高分子材料是感光樹脂,其中之一是聚乙烯醇肉桂酸酯(它是有感光作用的功能高分子,其中的肉桂;枪δ芨叻肿又械墓δ芑鶊F(tuán))。把它涂在半導(dǎo)體材料(如硅片)的表面,在上面覆蓋一塊掩模板(相當(dāng)于印相時(shí)用的照相底片),然后用紫外線照射曝光。受紫外線照射的肉桂;l(fā)生二聚反應(yīng),生成難溶性的交聯(lián)高分子,沒有受紫外線照射的部分用有機(jī)溶劑洗去刻蝕劑。根據(jù)上述原理,可以制作集成電路。
 

 

 
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