無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room）、無塵車間，是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

（1）三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱；

（2）用90%去離子水和10%的異丙醇配置清潔劑；

（3）吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面；

（4）每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時清走；

（5）在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有高效過濾器的專用真空吸塵器；

（6）每塊地板都要吸塵。每次交接班時，都應(yīng)在地圖上標明工作完成情況，例如在哪結(jié)束從哪開始；

（7）架空地板下也要吸塵及擦拭；

（8）使用已獲批準的潔凈室專用去污劑；

（9）工作時一定要記住，永遠是由上往下擦，從離門最遠的地方向門的方向擦；

（10）清潔潔凈室的地面應(yīng)使用專用拖把；

（11）所有的門都需要檢查并擦干;

（12）清潔潔凈室內(nèi)的墻時應(yīng)使用潔凈室無塵布。

無塵車間潔凈度之維持和控制，除了硬設(shè)備之配合投資外，也需要良好的軟件——管理制度來搭配，方能維持良好的潔凈度。

無塵車間內(nèi)之污染來源，經(jīng)測試分析結(jié)果，作業(yè)人員占約 80%，作業(yè)人員進出無塵車間時無塵車間的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源。

外污染源主要包括空調(diào)送風、間隙滲入、建筑物、工作服、以及一般性氣體如 N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內(nèi)污染源則包括生產(chǎn)設(shè)備、工作人員、工具、加工制造、隔間材料、工作臺、 包裝材料等。所無塵布廠家以無塵車間工作不但要使用無塵材料，如無塵布，無塵服等，還要加強對進出人員的管理，方能發(fā)揮無塵車間應(yīng)有的作用。

1.無塵車間適當之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設(shè)備、原材料搬入無塵車間前先做好清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當?shù)墓芾砗驮O(shè)置。

2. 室內(nèi)發(fā)塵之防止：隔墻板、地板等無塵車間材料的適當選用、制造設(shè)備的發(fā)塵抑制、生產(chǎn) 自動化及人員不聚集、動作放松、潔凈衣的管理、使用無塵車間專用器等。

3. 室內(nèi)發(fā)塵之不積留：墻壁體應(yīng)光滑無死角、無塵車間需定期保養(yǎng)和清掃、制程設(shè)備四周應(yīng)留有空間。

4.發(fā)生塵埃立即排除。　

因此對于作業(yè)人員之數(shù)目、 行動狀態(tài)、進出規(guī)則之制定與執(zhí)行，提高無塵車間內(nèi)作業(yè)人之潔凈度意識、反復教育。

1.進入無塵車間之人員，必須要具備有達成高潔凈度標準，并要維持最好狀態(tài)。

2.作業(yè)人員進入無塵車間數(shù)目以維持最小限度原則（愈少愈好），并須依無塵車間進出標準流程進出無塵車間。

1.物料及設(shè)備之進出也必須經(jīng)過潔凈程序，方不至于影響無塵車間之潔凈度。

2.工作人員于其室內(nèi)清潔設(shè)備或物料時必須穿著潔凈衣服，所使用之擦拭紙為無塵紙或不會脫落織毛之無塵布，清潔劑除了使用超純水之外，并加入 3~5％濃度的 IPA 或丙酮化學品，以增強去污能力，由于 IPA 及丙酮具揮發(fā)性，故此房間之排氣效果須特別考慮。

3.無塵車間內(nèi)用品除了進出無塵車間用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外， 尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、 吸塵器等。潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之組織不易通過污染物和不附著污染物 之材質(zhì)，另外經(jīng)過磨擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常小，洗滌再生容易、不易皺、 著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無塵紙或無紡布制成，帽子材質(zhì)則與潔凈衣相同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛和臉表面部分外，其它部分均需包覆，在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來。無塵車間用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件。

在線粒子監(jiān)測系統(tǒng)整體解決方案，可以實現(xiàn)通過在線塵粒計數(shù)裝置對相關(guān)參數(shù)進行連續(xù)的監(jiān)測，實現(xiàn)實時數(shù)據(jù)的采集，預警及報警指示器告知，以此來指導現(xiàn)場或遠程操作人員對于發(fā)生的事件及時采取措施，同時，通過對實時采集數(shù)據(jù)的記錄存儲和回顧審核，用于批生產(chǎn)的放行及廠房設(shè)施的回顧。